Piezoelektrische Mikrosysteme - Entwurf, Fertigung und Charakterisierung piezoelektrischer mikroelektromechanischer Wandlersysteme auf Basis von Aluminiumnitrid. Habilitationsschrift

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von Chris Stöckel

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Produktdetails

Verlag	Universitätsverlag Chemnitz
Auflage	2025
Seiten	254
Format	14,8 x 1,5 x 21,0 cm
Gewicht	373 g
ISBN-10	396100255X
ISBN-13	9783961002559
Bestell-Nr	96100255A

Produktbeschreibung

In diesem Buch werden die theoretischen Grundlagen sowie das spezifische Fachwissen für den Entwurf und die Herstellung von piezoelektrischen Mikrosystemen mit Fokus auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid als Wandlermaterial vermittelt. Vom einfachen Beispiel des Freiträgers bis hin zu komplexen Mikrosystemen aus der Forschung und Entwicklung wird die Anwendung des theoretischen Wissens praktisch aufgezeigt. Eine Anwendung liegt im Bereich der aktiven Mikrooptiken mit piezoelektrischen mikro-opto-elektromechanischen Systemen, unter anderem für die Fluoreszenz-Endoskopie. Darüber hinaus wird ein piezoelektrischer Beschleunigungssensor vorgestellt, der intrinsisch Ladungsträger generiert und für energieeffiziente und energieautonome Systeme eingesetzt werden kann. Zudem werden der Entwurf, die Charakterisierung und Fertigung von hoch miniaturisierten, piezoelektrischen Ultraschallwandlern auf Basis der Mikrotechnologien aufgezeigt.

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